现代激光干涉技术是在人类关于光学的几乎全部知识的基础上发展起来的。激光与普通光源相比，具有一些独特的性质：单色性好、相干性好、方向性强、亮度高。激光干涉仪是以激光波长为已知长度，利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量，广泛应用于各领域，已经成为人类认知世界的重要工具。
1604年开普勒（J．Kepler）写出光学著作，指出光的强度和到达光源距离的平方成反比。并于1611年出版《折射光学》。
1801年托马斯•杨（Thomas Young）用双狭缝实验演示了光的干涉现象，即著名的杨氏双缝实验。
1881年迈克尔逊（Albert．A．Michelson）设计了著名的实验来测量“以太”漂移。当然没测到漂移，由此导致“以太”说的破灭和相对论的诞生。它首次用于干涉仪，以镉红谱线与国际米原器作对比。正是由于他的工作导致后来用光的波长定义“米”。由于他在精密光学仪器、光谱和计量领域的研究工作于1907年获得诺贝尔奖。
1960年Maiman研制成功第一台红宝石激光器，从此开始了光学技术飞速发展的新时代。从此，激光干涉测量被广泛地用于长度、角度、微观形貌、转速、光谱等领域，并和微电子技术、计算机技术集成，成为现代干涉仪。
1982年G．Binning和H．Rohrer研制成功扫描隧道显微镜，1986年发明原子力显微镜，1986年获得诺贝尔奖。从此开始了干涉仪向纳米、亚纳米分辨率和精度前进的新时代。
由于激光具有极好的时间相干性，自问世以来，已研制出多种激光干涉仪：单频激光干涉仪、双频激光干涉仪、半导体激光干涉仪、法布里-珀罗（F-P）干涉仪、X射线干涉仪等。
激光干涉仪是激光在计量领域中最成功的应用之一。利用光的干涉实现测量，具有非接触、无损检测的特点，已经在各个不同领域得到广泛的应用。
中图仪器近期推出的 SJ6000激光干涉仪 采用进口高稳频氦氖激光器、双纵模热稳频技术、多参数环境补偿技术、高速数字信号处理系统等技术，通过与不同的光学组件结合，实现对线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测。线性测长精度：±0.5ppm，激光稳频精度：0.05ppm。